Senzory a senzorové platformy vyrábíme tenkovrstvou technologií. Spolupracujeme s předními českými univerzitami a vědeckými pracovišti.
Již tradiční součástí nabídky produktů společnosti TESLA BLATNÁ a.s. jsou senzory a senzorové platformy vyráběné tenkovrstvou technologií, na jejichž návrhu a vývoji dlouhodobě spolupracujeme v řadě projektů s předními českými univerzitami a vědeckými pracovišti. Výroba těchto senzorů a senzorových platforem probíhá v plně vybaveném zázemí vlastních čistých prostor. Nosným produktem portfolia společnosti v této oblasti jsou platinové teplotní senzory, které doplňuje nabídka jednotlivých unikátních senzorových platforem.
Teplotní senzory z naší produkce nacházejí využití nejen v širokém spektru průmyslových aplikací, ale i ve vědě a výzkumu. Senzorové platformy se uplatňují jako základ konstrukce širokého spektra senzorů, zejména senzorů plynů a nebezpečných látek. Uplatnění nacházejí jak ve výrobě, tak vývoji nových senzorů. Na základě individuálního přístupu k zákazníkům umíme navrhnout a vyrobit senzorové platformy dle konkrétních požadavků.
Základním konstrukčním prvkem senzorů a senzorových platforem je keramický substrát z Al2O3 . Technologií naprašování tenkých kovových vrstev, fotolitografií, mokrého a suchého leptání jsme schopni realizovat různé odporové a elektrodové struktury. Základní konstrukční části představíme na platinovém teplotním senzoru.
Oddělení tenkých vrstev má ve společnosti TESLA BLATNÁ a.s. dlouhou historii a navazuje na konstrukci planárních mikrovlnných struktur. Dnes se výrobní a vývojový program přeorientoval na senzorové platformy a senzory na těchto strukturách.
Vyrábíme platinové teplotní senzory (odporové senzory teploty) pro průmyslové a vědecké využití. Teplotní senzory jsou konstruovány jako tenkovrstvé odporové senzory na keramickém substrátu. Tato konstrukce má řadu výhod oproti klasickým senzorům z navinutého platinového drátu. Konstrukce tenkovrstvého senzoru je jednodušší, má větší mechanickou odolnost a nabízí větší variabilitu v použití. Platina má pro účely odporového teplotního senzoru výborné fyzikální parametry, použitelný teplotní rozsah je od -200 °C až do 1000 °C. Vyráběné platinové senzory mají teplotní koeficient (TKR) 3850 ppm/K a odpovídají normě ČSN EN 60 751. Základní nominální hodnoty vyráběných teplotních senzorů jsou 100 a 1000 Ω.
Platinový odporový teplotní senzor na keramickém substrátu s nominální hodnotou 1000 Ω při 0 ˚C. Na senzor jsou přivařeny přívody ze stříbrného drátu. Teplotní senzory PT1K jsou dostupné v třídách přesnosti dle odpovídající normy ČSN EN 60 751.
Platinový odporový teplotní senzor na keramickém substrátu s nominální hodnotou 100 Ω při 0 ˚C. Na senzor jsou přivařeny přívody ze stříbrného drátu. Teplotní senzory PT100 jsou dostupné v třídách přesnosti dle odpovídající normy ČSN EN 60 751.
Mimo základní nabídku teplotních senzorů vyrábíme i jejich modifikace vycházející z požadavků zákazníků. Na zakázku vyrobíme teplotní senzory s různou ohmickou hodnotou odporu, různými rozměry a různými přívodními vodiči. Nejčastěji požadovanou modifikací jsou odlišné rozměry a hodnota odporu např. 500 Ω.
Platforma KBI2 je multisenzorová struktura, která se skládá z teplotního senzoru Pt1K, vyhřívacího elementu a interdigitální elektrodové struktury. Všechny elementy jsou tvořeny tenkou vrstvou platiny na keramickém substrátu. Vyhřívací element a teplotní senzor jsou chráněny tenkou krycí izolační vrstvou. Citlivé vrstvy mohou být deponovány na nepasivovanou interdigitální strukturu metodou sítotisku, spin-coatingu, drop-coatingu atd.
KBS4 je oboustranná senzorová platforma, která se skládá z platinových elektrod interdigitální struktury na lícové straně keramického substrátu a z platinového vyhřívacího elementu na rubové straně keramického substrátu. Rovnoměrným pokrytím plochy platformy vyhřívacím elementem je zajištěno homogenní teplotní pole na povrchu platformy. Pokračování skrolováním.. Jednotlivé struktury platformy jsou tvořeny tenkou platinovou vrstvou. Přívodní vodiče jsou k platformě kontaktovány na lícové straně na protilehlých hranách. Vodivý kontakt s topným elementem na rubové straně platformy je zajištěn prokovením platinou skrz otvory v keramickém substrátu. Vyhřívací element je chráněn krycí izolační vrstvou. Citlivé vrstvy mohou být deponovány do prostoru nepasivované interdigitální struktury různými metodami (sítotiskem, spin-coatingem, drop-coatingem, …)
Na keramickém substrátu jsou naneseny zlaté interdigitální elektrody, na které mohou být aplikovány senzitivní vrstvy tlustovrstvou, nebo tenkovrstvou technologií. Systém elektrod umožňuje použití nejrůznějších citlivých vrstev. Topologii interdigitálních elektrod je možné modifikovat podle konkrétní zákaznické specifikace.
Vlhkostní senzor BI2H je polovodičový senzor určený pro měření relativní vlhkosti. Fyzikální princip měření je založen na vlastnostech organického polovodiče, který vlivem vlhkosti mění svou impedanci. Měnící se impedanci sensitivní vrstvy vlivem vlhkosti lze již snadno elektronicky vyhodnocovat.
Mimo základní nabídku teplotních senzorů vyrábíme i jejich modifikace vycházející z požadavků zákazníků. Na zakázku vyrobíme teplotní senzory s různou ohmickou hodnotou odporu, různými rozměry a různými přívodními vodiči. Nejčastěji požadovanou modifikací jsou odlišné rozměry a hodnota odporu např. 500 Ω.
Senzorové platformy vyrábíme i v modifikacích vycházejících z požadavků jednotlivých zákazníků. Elektrodové struktury deponujeme na různé typy substrátů, nejčastěji kromě keramiky realizujeme struktury na křemíkových a skleněných substrátech. Umíme navrhnout různé uspořádání interdigitálních elektrod i vyhřívacího elementu.
Naše vývojové a výrobní kapacity nabízíme i pro realizaci finálních senzorů. V této oblasti realizujeme různá vodivostní čidla, senzory využívající naše topné elementy, elektrochemické senzory atd.
Oddělení tenkých vrstev má ve společnosti TESLA BLATNÁ a.s. dlouhou historii a navazuje na konstrukci planárních mikrovlnných struktur. Dnes se výrobní a vývojový program přeorientoval na senzorové platformy a senzory na těchto strukturách. V rámci rozvoje společnosti spolupracujeme s řadou renomovaných univerzit a vědeckých ústavů.
Mimo základní nabídku teplotních senzorů vyrábíme i jejich modifikace vycházející z požadavků zákazníků. Na zakázku vyrobíme teplotní senzory s různou ohmickou hodnotou odporu, různými rozměry a různými přívodními vodiči. Nejčastěji požadovanou modifikací jsou odlišné rozměry a hodnota odporu např. 500 Ω.
Naše technologické zázemí umožňuje vyrábět planární struktury na zakázku dle specifikace zákazníka. Může se jednat o různá provedení teplotních senzorů nebo různé elektrodové systémy.
Technologii lze kombinovat s ostatními odděleními společnosti a nabídnout tak komplexní řešení. Naši specialisté s vámi prokonzultují nejvhodnější řešení pro vaše zadání.
Zázemí tenkých vrstev disponuje depozičními aparaturami, fotolitografií, zázemím pro suché i mokré leptání, plynovým hospodářstvím pro práci se senzory plynů atd.
ENG
